樂山如何對無塵室微粒子濃度控制方案




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2020-08-28 17:24:36
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如何對無塵室微粒子濃度控制（control)方案 
10-100萬級無塵室
，其空氣潔凈室必須得到有效控制（control)才能發(fā)揮潔凈室的作用
，但是如何控制無塵室內(nèi)微粒子濃度的控制呢
？這是潔凈室工程師思考的問題
。通常來講，無塵室的浮游微粒子濃度
，若用高性能的送風系統(tǒng)即可達到零水平
，然而實際的生產(chǎn)(Produce)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器
、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等
，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，故造成了元件清潔面的粒子污染
。
無塵室內(nèi)如何控制（control)微粒子濃度呢
？ 
1、不攜入:人
、機
、料進無塵室不攜入微粒子
 （1）進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無塵服
、帽
、鞋、手套
、口罩等
， 再通過風淋室吹淋，高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子
，吹淋完畢才能進入無塵室
。潔凈度檢測潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進行測試。潔凈室的風量
、風速
、正壓、溫度
、濕度
、噪聲的檢測，可按一般通用
、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行
。凈化車間檢測換氣次數(shù)：100000級≥15次；10000級≥20次
；1000≥30次
。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa平均風速：10級、100級0.3－0.5m/s
；溫度 冬季>16℃
；夏季 <26℃；波動±2℃
。 
 （2）機器
、材料進無塵室前
，應(yīng)盡可能（maybe)在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)貨淋室吹淋或風淋傳遞（transmission)窗吹淋后才能進入無塵室
。靜壓差由于層流流量計適用于層流流動狀態(tài)
，從流體力學的角度分析是適用于低雷諾數(shù)下的流動。流 體在流動過程中粘性力占主導地位
。 由于粘性力的影響
，流體在流動過 程中將造成壓力能的損耗，使壓力 下降
。在穩(wěn)定流動過程中
，流體的壓力損失與流體粘度及流量之間存在固定的關(guān)系。
 （3）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間
。
2
、不發(fā)生:無塵室內(nèi)動態(tài)環(huán)境下機、料的不發(fā)生控制（control)
； 
在控制（control)最大污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時
，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時
，所產(chǎn)生 的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵
，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到最小限度應(yīng)采取以下對策：
 （1）減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)（pattern)
；
 （2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)
；
 （3）采用發(fā)塵小的潤滑油；
3
、不儲備：
現(xiàn)實中人和物品的頻繁（frequency)出入及機臺的掣動（動態(tài)）
，無塵室要想達到動態(tài)潔凈級別，因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器(作用:過濾雜質(zhì)等)中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要
。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)吸附力而停留在周邊的物體表面
。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性
。
控制（control)氣流可防止微粒子累積
，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)吸附而引起的微粒附著
，通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導電性材料
。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)（pattern)及接觸部品材料
，并藉由除電裝置進 行除電
。
4、排除/除去
在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中
，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子
，因此直接做對外排氣的動作
，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下： 
由于導入同量的外氣是必要的
，但會伴隨大量的能源（解釋:向自然界提供能量轉(zhuǎn)化的物質(zhì))消耗（consume)
。所以無法說是絕對理想的對策。因此盡可能（maybe)地在壓縮排氣量的同時
，不僅僅是向無塵室外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策
。 
公司專業(yè)生產(chǎn)初中高效空氣過濾器(作用:過濾雜質(zhì)等)
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