四川如何對無塵室微粒子濃度控制方案




admin
2020-08-28 17:24:36
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如何對無塵室微粒子濃度控制（control)方案 
10-100萬級無塵室
，其空氣潔凈室必須得到有效控制（control)才能發(fā)揮潔凈室的作用
，但是如何控制無塵室內微粒子濃度的控制呢
？這是潔凈室工程師思考的問題。通常來講
，無塵室的浮游微粒子濃度，若用高性能的送風系統(tǒng)即可達到零水平
，然而實際的生產(Produce)現(xiàn)場由于作業(yè)者
、機器
、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子
，故造成了元件清潔面的粒子污染
。
無塵室內如何控制（control)微粒子濃度呢？ 
1
、不攜入:人
、機、料進無塵室不攜入微粒子
 （1）進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵
、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服
、帽、鞋
、手套
、口罩等， 再通過風淋室吹淋
，高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子
，吹淋完畢才能進入無塵室。潔凈度檢測潔凈室已處于正常生產狀態(tài)下進行測試
。潔凈室的風量
、風速、正壓
、溫度
、濕度、噪聲的檢測
，可按一般通用
、空氣調節(jié)的有關規(guī)定執(zhí)行。凈化車間檢測換氣次數：100000級≥15次
；10000級≥20次
；1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa平均風速：10級
、100級0.3－0.5m/s
；溫度 冬季>16℃；夏季 <26℃
；波動±2℃
。 
 （2）機器、材料進無塵室前
，應盡可能（maybe)在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭
，經貨淋室吹淋或風淋傳遞（transmission)窗吹淋后才能進入無塵室。靜壓差由于層流流量計適用于層流流動狀態(tài)，從流體力學的角度分析是適用于低雷諾數下的流動
。流 體在流動過程中粘性力占主導地位
。 由于粘性力的影響，流體在流動過 程中將造成壓力能的損耗
，使壓力 下降
。在穩(wěn)定流動過程中，流體的壓力損失與流體粘度及流量之間存在固定的關系
。
 （3）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間
。
2、不發(fā)生:無塵室內動態(tài)環(huán)境下機
、料的不發(fā)生控制（control)
； 
在控制（control)最大污染源--人在無塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量
。因物品在移動時
，所產生 的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生
。故為了控制發(fā)塵量達到最小限度應采取以下對策：
 （1）減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)（pattern)
；
 （2）采用磨耗發(fā)塵小的材質；
 （3）采用發(fā)塵小的潤滑油
  ；
3
  、不儲備：
現(xiàn)實中人和物品的頻繁（frequency)出入及機臺的掣動（動態(tài)），無塵室要想達到動態(tài)潔凈級別
  ，因此“不儲備”技術快速地在過濾器(作用:過濾雜質等)中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要
  。通常已發(fā)生的微粒子會依據重力及靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起
  ，增加了重大微粒子污染的危險性
  。
控制（control)氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止
  。為了防止由靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)吸附而引起的微粒附著
  ，通常在無塵室內會使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電
，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)（pattern)及接觸部品材料
，并藉由除電裝置進 行除電
。
4
、排除/除去
在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓無塵室內產生微粒子
，因此直接做對外排氣的動作
，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下： 
由于導入同量的外氣是必要的
，但會伴隨大量的能源（解釋:向自然界提供能量轉化的物質)消耗（consume)
。所以無法說是絕對理想的對策
。因此盡可能（maybe)地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣
，而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策
。 
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