甘肅如何對無塵室微粒子濃度控制方案

admin 2020-08-28 17:24:36 閱讀

如何對無塵室微粒子濃度控制（control)方案
10-100萬級無塵室

，其空氣潔凈室必須得到有效控制（control)才能發(fā)揮潔凈室的作用

，但是如何控制無塵室內(nèi)微粒子濃度的控制呢

？這是潔凈室工程師思考的問題

。通常來講

，無塵室的浮游微粒子濃度

，若用高性能的送風(fēng)系統(tǒng)即可達(dá)到零水平

，然而實(shí)際的生產(chǎn)(Produce)現(xiàn)場由于作業(yè)者

、機(jī)器

、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等

，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，故造成了元件清潔面的粒子污染

。
無塵室內(nèi)如何控制（control)微粒子濃度呢

？
1、不攜入:人

、機(jī)

、料進(jìn)無塵室不攜入微粒子
（1）進(jìn)入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服

、帽

、鞋、手套

、口罩等

，再通過風(fēng)淋室吹淋，高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子

，吹淋完畢才能進(jìn)入無塵室

。潔凈度檢測潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測試。潔凈室的風(fēng)量

、風(fēng)速

、正壓、溫度

、濕度

、噪聲的檢測

，可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行

。凈化車間檢測換氣次數(shù)：100000級≥15次

；10000級≥20次；1000≥30次

。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10級

、100級0.3－0.5m/s；溫度冬季>16℃

；夏季 <26℃

；波動±2℃。
（2）機(jī)器

、材料進(jìn)無塵室前

，應(yīng)盡可能（maybe)在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)貨淋室吹淋或風(fēng)淋傳遞（transmission)窗吹淋后才能進(jìn)入無塵室

。靜壓差由于層流流量計(jì)適用于層流流動狀態(tài)

，從流體力學(xué)的角度分析是適用于低雷諾數(shù)下的流動。流體在流動過程中粘性力占主導(dǎo)地位

。由于粘性力的影響

，流體在流動過程中將造成壓力能的損耗，使壓力下降

。在穩(wěn)定流動過程中

，流體的壓力損失與流體粘度及流量之間存在固定的關(guān)系。
（3）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間

。
2

、不發(fā)生:無塵室內(nèi)動態(tài)環(huán)境下機(jī)、料的不發(fā)生控制（control)

；
在控制（control)最大污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時

，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺的發(fā)塵量。因物品在移動時

，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵

，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到最小限度應(yīng)采取以下對策：
（1）減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)（pattern)

；
（2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)

；
（3）采用發(fā)塵小的潤滑油；
3

、不儲備：
現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁（frequency)出入及機(jī)臺的掣動（動態(tài)）

，無塵室要想達(dá)到動態(tài)潔凈級別，因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器(作用:過濾雜質(zhì)等)中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電(是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷)吸附力而停留在周邊的物體表面

。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起

，增加了重大微粒子污染的危險性。
控制（control)氣流可防止微粒子累積

，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止

。為了防止由靜電(是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷)吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料

。而對于制造品本身的帶電

，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)（pattern)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn) 行除電

。
4、排除/除去
在無法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺中

，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子

，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣

。針對排氣的對策如下：
由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的

，但會伴隨大量的能源（解釋:向自然界提供能量轉(zhuǎn)化的物質(zhì))消耗（consume)。所以無法說是絕對理想的對策

。因此盡可能（maybe)地在壓縮排氣量的同時