新疆半導體潔凈車間注意事項




admin
2020-06-23 17:25:26
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　　半導體組件空間單位都是以微米來計算的，所以微塵顆粒附著在制作半導體組件的晶圓上
，很有可能（maybe)影響到上面的精密導線布局的樣式
，造成短路(電流不經(jīng)用電器、直接連電源兩極)或斷路情況
。因此所有半導體制程設備都必須放置在隔絕粉塵(形態(tài):固體微粒)進入的密閉空間里，這就是半導體潔凈車間的來由
。
　　下面給大家說說出入半導體(semiconductor)潔凈車間需要注意的事項：
　　1
。無塵車間目前級別最高的當屬航天航空的航空倉
，基本是屬于1級，屬于特殊領域
，面積相對較小
。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產(chǎn)車間
，物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向
。潔凈車間凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效
、中效
、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理
，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。半導體(semiconductor)潔凈車間內(nèi)部要確保粉塵(形態(tài):固體微粒)只出不進
，因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境
，這就需要用大型鼓風機(Draught Fan)將經(jīng)凈化設備的空氣源源輸入潔凈車間中。
　　2
。為保持恒溫恒濕
，大型空調(diào)設備須搭配（collocation)前面的鼓風加壓系統(tǒng)使用
。鼓風機加壓多久
，空調(diào)就得開多久。
　　3
。所有經(jīng)凈化設備的空氣流動方向均由上往下為主
，因此潔凈車間室內(nèi)空間設計或機臺擺放應避免突兀（tū wù）
，使塵埃特殊結構:莢膜、鞭毛
、菌毛（fungus)等在潔凈車間內(nèi)回旋停滯的機會與時間減至最低程度
。
　　4。所有建材均以不易產(chǎn)生靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)吸附的材質(zhì)為主
。
　　5
。所有人或事物進出潔凈車間，人必須穿配套防塵服
，人或事物都要經(jīng)過風淋室吹淋以將表面粉塵(形態(tài):固體微粒)先行除掉。
　　6
。凈化車間是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度
，使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)
、制造。此環(huán)境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程
。半導體(semiconductor)潔凈車間內(nèi)水的使用只限用去離子水
。一是防止水中粉粒污染晶圓
，二是防止水中重金屬離子(metal ion)(heavy metal ion)污染金氧(Oxygen)半晶體管結構的帶電載子信道（指通信的通道
、是信號傳輸?shù)拿浇?，影響半導體組件的工作特性
。去離子水是最佳的溶劑與清潔劑